21世紀(jì)最全面的石墨加熱棒怎么連接方法已普及

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本實(shí)用新型屬于高溫?zé)Y(jié)爐技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種利用石墨加熱棒加熱的高溫真空燒結(jié)爐。

上面提及的高溫真空燒結(jié)爐是在“工欲其善必先利其器”的背景下誕生的，以屬于類金剛石氮化物范疇的氮化鋁(ALN)基片為例，由于其具有并非限于以下諸方面的長處:熱導(dǎo)率高，約為20W/m.k，接近BeO和SiC，并且是A1203的五倍以上；熱膨脹系數(shù)小，在4.5X106°C，與Si (3.5?4X10 6°C)以及GaAs (6X 10 6°C )相當(dāng)；電性能特性優(yōu)異，具體而言，介電常數(shù)、介質(zhì)損耗、體電阻率和介電強(qiáng)度十分優(yōu)異；機(jī)械性能理想，抗折強(qiáng)度高于A1203和BeO陶瓷；純度高、光傳播持性好和無毒；等等，因而受到人們的器重。但是，由于氮化鋁的燒結(jié)溫度較高，約在2000°C左右，因而不論是爐體結(jié)構(gòu)還是加熱裝置以及與爐體相關(guān)的輔助設(shè)施均具有嚴(yán)苛的要求，也就是說常規(guī)的高溫?zé)Y(jié)爐無法勝任對(duì)氮化鋁或類似材料的高溫?zé)Y(jié)。